Az EUV (extrém ultraibolya) litográfia olyan új gyártástechnológia, amelynek tökéletesítésén a mai napig dolgoznak, és a Moore-törvény fenntarthatóságának záloga lehet, átlépve az eddigi levilágítási technikák korlátait. Az EUV-levilágítók 13,5 nanométeres hullámhosszúságú fénnyel dolgoznak, amellyel az alkatrészek csíkszélessége különféle praktikák nélkül is 10 nanométerig lesz csökkenthető. Az ASML és a Nikon első EUV-gépeit már tavaly tesztüzembe állították, ám a tömegtermelésben egy darabig még nem terjednek el, mert a jelenlegi modellek nem gazdaságosak.

Gyorsítják a generációváltást ■ Maguk a berendezések igen sokba kerülnek, ehhez viszonyítva azonban meglehetősen alacsony kapacitással működnek. Így az EUV-levilágítókat legkorábban is évek múlva állíthatják munkába a chipgyártók, akik közül az Intelnek különösen fontos a szűk határidő: a vállalat hétfői bejelentése szerint összesen 3,3 milliárd eurót fektet a holland ASML Holdingba. Ebből a 15 százalékos tulajdonrész megszerzése mellett további 829 milliót az EUV-levilágítók fejlesztésére fordítanak a következő öt évben, a kutatások további célja pedig az, hogy 450 milliméteresre növeljék a waferek méretét.

_{300 milliméteres wafer az Intel üzemében}

A nagyobb felületű, fajlagosan olcsóbb szilíciumszeletek alkalmazása a csíkszélesség csökkentésével együtt 30-40 százalékkal szoríthatja le a költségeket, így a kezdeti tekintélyes beruházások hamar megtérülnek. Az Intel már két éven belül implementálni akarja a technológiákat a kereskedelmi termelésben, de az ASML azt is elképzelhetőnek tartja, hogy az EUV-levilágítók a 20 nanométer alatti chipekkel együtt már 2013 elején megjelenik a kereskedelmi termelésben.

Nem mindenki örül ■ A megállapodás keretei között az ASML nem biztosít kizárólagosságot vagy preferenciális hozzáférést az Intel számára, igaz, az árak csökkenése önmagában is új piacokat nyithat majd. Elemzők szerint az Intelnek mindenképpen a zsebébe kell nyúlnia, ha meg akarja őrizni jó két éves technológiai előnyét az olyan riválisokkal szemben, mint amilyen például a Samsung Electronics, a nyolcvanas években alapított ASML másik megrendelője és lehetséges befektetője.


A mostani bejelentés az ASML legnagyobb konkurensének, a Nikonnak fájhat igazán. A japán vállalat litográfiai berendezéseinek majdnem felét eddig az Intel vásárolta meg, nem csoda, hogy a piac aggódni kezdett a profit miatt: a Nikon részvényeinek árfolyama a bejelentést követő fél nap alatt 6,3 százalékot zuhant a tokiói tőzsdén. A másik fontos versenytárs, a Canon papírjai viszont még erősödtek is a hétfői kereskedésben, bár a cég teljes üzletének jóval kisebb részéről van szó, mint a Nikon esetében.